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1200℃智能型放電等離子體燒結(jié)爐(SPS)
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1100℃高壓(1.2MPa)液相外延單晶生長爐&手套箱系統(tǒng)
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1400℃微波等離子熱壓爐(微波SPS,100MPa)
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500℃&24T平板熱壓機 (135x135 mm,上下板獨立控溫)
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1400℃真空/氣氛微波加熱爐
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微波加熱器(用于KSL-MW-XX系列微波爐)
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快速加熱微波爐(可選1100℃或1400℃)
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1500℃自動下裝載爐(爐膛尺寸150*150*150mm)
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200℃&6T手動平板熱壓機(最大樣品:120*120*30mm)
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1200℃氣氛控制熔鹽電解爐(直流電源、坩堝和電極材質(zhì)可選配)
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750℃&24T平板熱壓機 (135x135 mm,上下板獨立控溫)
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1250℃小型立式爐(可在手套箱內(nèi)使用)
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1700℃8腔室(120*120*120mm)高通量自動化箱式爐
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1200℃高通量箱式爐
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自主材料制備實驗平臺(可用于陶瓷&粉末冶金樣品,配XRD檢測閉環(huán))
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1100℃小型手動/電動多工位搖擺爐
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1200℃小型三溫區(qū)開啟式管式爐(可選爐管直徑25/50/60)
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下裝載爐 (爐膛尺寸500*500*500mm,125L)
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1600°C經(jīng)濟型箱式氫氣爐(16”x16”x16”(65 L))
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750℃&5T無油壓機(135mm×135mm)
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1400℃箱式爐(500×500×500mm,容積:125L)
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精密多功能研磨拋光機
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高速自動化學機械拋光機(CMP,300mm底盤,配自動送料器)
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800℃立式超聲霧化輔助CVD系統(tǒng)