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大型500℃熱循環(huán)烘箱（2.6×1.3×1.4m,4732L,程序化控溫）
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1100℃磁場爐（外徑Φ100mm）
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四電弧單晶生長系統(tǒng)（4電弧熔樣品，3000℃，可轉(zhuǎn)動水冷銅坩堝）
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1200℃&130管徑mistcvd系統(tǒng)
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1400℃爐門和門堵一體化箱式爐（MAX:1400℃，容積：36L，高溫開門取放樣，無門堵）
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1400℃爐門和門堵一體化箱式爐（MAX:1400℃，容積：19L，高溫開門取放樣，無門堵）
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1200℃雙爐氫化物氣相外延系統(tǒng)（HVPE）
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1400℃爐門和門堵一體化箱式爐（MAX：1400℃，容積：3.4L，高溫開門取放樣，無門堵）
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1400℃爐門和門堵一體化箱式爐（MAX:1400℃，容積：8L，高溫開門取放樣，無門堵）
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1200℃梯度可調(diào)提拉式晶體爐
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900℃雙溫區(qū)旋轉(zhuǎn)CVD爐（配備不銹鋼異形耐壓管，最大壓力0.1MPa)
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1200℃手套箱連體管式爐系統(tǒng)
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10T電動無油壓力機(jī)
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分體式蒸發(fā)鍍膜儀（可放入手套箱）
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1200℃高溫霧化熱腐蝕爐
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1100℃&6英寸CVD系統(tǒng)（鈦合金法蘭、防腐型）
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方形壓片模具(可定制，最大尺寸80×80mm)
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三管式爐連接手套箱系統(tǒng)（H2O&O2＜1PPM）
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800℃&0.1MPa不銹鋼防腐回轉(zhuǎn)爐
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750℃&5T真空平板熱壓機(jī)
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1500℃快速升降溫提拉爐（雙溫區(qū)、管徑可選）
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900℃不銹鋼耐腐回轉(zhuǎn)爐
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1200℃超聲霧化PECVD系統(tǒng)（超聲頻率40KHZ）
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高溫高壓爐
皖公網(wǎng)安備 34012302000974號
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