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500℃真空平板熱壓機(jī)（平板尺寸100×100~400×400mm,20-40T）
型號：
YLJ-HPV-5-XX
產(chǎn)品概述：
YLJ-VHP5 是一款真空平板熱壓機(jī)，專為晶圓鍵合、薄膜轉(zhuǎn)移和 LCP 層壓設(shè)計，加熱面積為 100 ×100 mm~400×400mm。其最高工作溫度為 500 ℃，最大壓力為 20T~40T。
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技術(shù)參數(shù)產(chǎn)品視頻實驗案例警示/應(yīng)用提示配件詳情
基本參數(shù)

產(chǎn)品型號

·YLJ-VHP5-4

·YLJ-VHP5-12

·YLJ-VHP5-16

電壓和功率

·AC 208 - 240 V, 50/60 Hz
·單相 2,000 W

·AC 208 - 240 V, 50/60 Hz
·單相 5,000 W

·AC 208 - 240 V, 50/60 Hz
·單相 6500 W

加熱平板

（其他尺寸可定制）

·100×100mm

·300×300mm

·400×400mm

2個平板最大距離

·30mm

·40mm

·40mm

腔體尺寸和容積

·525 L x 480 W x 450 H (mm)
·~ 75 L

·614 L x 574 W x 514 H (mm)
·~ 170 L

·700 L x650 W x 550H (mm)
·~250 L

加熱平板承受最大壓力

·10T（500℃）

·20T （室溫）

·20T（500℃）

·30T （室溫）

·30T（500℃）

·40T （室溫）
真空平板熱壓機(jī)結(jié)構(gòu)

·2塊加熱平板最高工作溫度500℃，采用高溫合金制作

·加熱元件插入加熱板的中心，以實現(xiàn)快速加熱。

·2塊加熱板分別由2個溫控儀表獨立控溫，30段程序控溫

·在加熱板的頂部和底部都安裝了水冷套管，以輔助散熱。進(jìn)/出水管為外徑12mm聚氨酯管

圖片1.png 圖片2.png  
液壓泵

·改良后的電動液壓機(jī)安裝在工作臺下方，并與一個真空腔室相連

·壓缸最大行程15mm

·通過數(shù)字壓力表設(shè)置，自動壓力控制

·壓力精度：+/-0.01 Mpa ( 0.1 kg/cm2)

·當(dāng)溫度超過 200℃時，需要采用水冷方式（冷卻流量＞16 L/min）來冷卻加熱板。
溫度控制和壓力顯示

·2塊加熱板分別由2個溫控儀表獨立控溫，30段程序控溫，控溫精度±1℃

·溫度控制器具備 PID 自動校準(zhǔn)功能、過熱保護(hù)以及斷熱電偶保護(hù)功能。

·最高工作溫度：500℃（惰性氣氛或真空環(huán)境下）

·最高加熱速率：5℃/min

·控制面板內(nèi)內(nèi)置了一款數(shù)字壓力計（控制器）。您可以設(shè)定所需的壓力值，這樣就能使電動液壓機(jī)到達(dá)壓力值時自動恒壓。

圖片3.png 
真空腔體

·電動液壓機(jī)和加熱板被放置在真空室內(nèi)部

·真空室由 SS304 不銹鋼制成

·安裝有一個真空密封門，直徑300mm,有一個直徑150mm的石英窗口，便于裝樣品和觀察

·所有真空密封均使用硅橡膠 O 型圈

·可選購安裝了一個數(shù)字真空計（10E-4Torr）測量真空腔室的真空度
可選

·可選購設(shè)備（需額外費用）

·需要一臺循環(huán)水冷機(jī)，用于對過熱的散熱板進(jìn)行冷卻，以加快冷卻速度。

·可選購真空泵，機(jī)械泵抽真空度300mTorr，分子泵系統(tǒng)抽真空度10-4Torr

圖片4.png圖片5.png 圖片6.png    
應(yīng)用注意

·此款熱壓機(jī)也可用于測量熱電發(fā)電機(jī)模塊（頂部受熱，底部冷卻）

圖片7.png 
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附件

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