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  • 800℃ CSS/RTP快速熱蒸鍍爐(配5英寸旋轉樣品臺)
  • 1200℃雙溫區4坩堝分體式HPCVD爐(帶進樣系統)
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  • 滴料器
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  • 三靶磁控濺射儀
  • 500℃真空熱壓機
  • 100T電動壓片機
  • 氧化鋯磨球(φ8mm 10mm 11.5mm)
  • 高通量行星式球磨機(4-16不銹鋼球磨罐,每瓶10-100ml)
  • 帶有光學窗口的高溫高壓爐
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